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  • Park
    XE15
    AFM 仕様

Park XE15 仕様

スキャナ

Z スキャナ

フレクチャーガイド式高力スキャナ

スキャン範囲:12 µm(オプションにて25 µm)
ハイト(高さ)ノイズレベル: 50 pm
(RMS, 帯域幅にて0.5 kHz )

XY スキャナ

クローズドループ制御付きシングルモジュールのフレクチャー式XYスキャナ

スキャン範囲:100 µm × 100 µm

 

ステージ

Zステージ駆動距離:25 mm(電動)
フォーカスステージ駆動範囲:20 mm(電動)
オプションの高精度エンコーダーでXY位置の再現性を実現
XYステージ駆動範囲:150 mm x 150 mm(電動)

 

サンプル

サイズ:最大 150 mm × 150 mmのオープンスペース、 厚さ最大20 mmまで(オプションにて 200 mm)
重量 :< 500 g

 

光学系

10x (0.28 NA) ウルトラロングワーキングディスタンスレンズ(分解能:1µm)
サンプル表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ
視野:480 × 360 µm(10x対物レンズ使用の場合)
CCDピクセル:1 Mピクセル, 5 M ピクセル(オプション)

 

ソフトウェア

SmartScan™

AFMシステム制御、およびデータ取得ソフトウェア
フィードバックパラメーターをリアルタイムに調整
外部プログラムによるスクリプトレベルの制御(オプション)

XEI

AFMデータ解析ソフトウェア(Windows, MacOS X, and Linux対応)

 

エレクトロニクス

高性能DSP:600MHzで4800MIPS
最大16枚の画像データ
最大データサイズ:4096 × 4096 ピクセル
信号入力: 16ビットADC 20チャンネル、500kHzサンプリング時
信号出力:16ビットDAC 21チャネル、500kHzセトリング
同期信号:画像終端、線終端、画素終端のTTL信号
アクティブQコントロール(オプション)
カンチレバーバネ定数校正(オプション)
CE規格適合
電源:120 W
信号アクセスモジュール(オプション)

 

AFMモード
(*オプションにて可能)

スタンダードイメージング

真のノンコンタクト™ AFM
コンタクトAFM
水平力顕微鏡(LFM)
位相イメージング
タッピングAFM

力測定*

フォースディスタンス(F/d)スペクトルスコピー
フォースボリュームイメージング

誘電・圧電特性*

静電気力顕微鏡(EFM)
ダイナミックコンタクトEFM(EFM-DC)
圧電応答力顕微鏡(PFM)
高電圧PFM

機械特性*

フォースモジュレーション顕微鏡(FMM)
ナノインデンテーション
ナノリソグラフィー
高電圧ナノリソグラフィー
ナノマニピュレーション

磁気特性*

磁気力顕微鏡(MFM)

 

電気特性*

コンダクティブAFM(C-AFM)
IVスペクトルスコピー
ケルビンプローブフォース顕微鏡(KPFM)
高電圧KPFM
走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)
走査型拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)
走査型トンネリング顕微鏡(STM)
フォトカレントマッピング(PCM)

 

AFMオプション

温度制御

温度制御ステージ 1
25 °C ~ +170 °C
温度制御ステージ 2
常温 ~ +250 °C
温度制御ステージ 3
常温 ~ +600 °C

液体セル

ユニバーサル液体セル
液体/気体灌流によるオープンまたはクローズド液体セル
温度制御範囲:0 °C ~ +110 °C (大気中)、 4 °C ~ +70 °C(液中)
電気化学用セル

液中プローブハンド

一般的な液体環境でのイメージングに適した設計
酸を含むほとんどの緩衝液に耐性あり
液体中のコンタクト・ノンコンタクトAFMイメージング

電動ステージ用エンコーダ

•エンコードされたXYステージは、1 µmの分解能で2 µmの繰り返し精度で移動します。
•エンコードされたZステージは、0.1 μmの分解能で1 μmの再現性で移動します。

 

外形寸法図(単位:mm)

xe15 demensions