Accurate AFM Solutions for FA and Research Laboratories
Sidewall measurements for 3D structure study
NX20의 획기적인 구조로 인하여 샘플의 측벽과 표면을 탐지하고 각각의 각도를 측정하는 것이 가능합니다. 이것은 사용자가 혁신적이고 깊이있는 연구를 할 수 있도록 도와줍니다.
Surface roughness measurements for media and substrates
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PinPoint AFM
마찰이 없는 전도성의 AFM
Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity
Tip Wearing Experiment with CrN Sample
반복적인 스캔을 하는 동안 팁의 형태변화를 비교할 때, Park Systems의 True Non-Contact Mode의 장점을 명확하게 인지하실 수 있습니다.
Reproduce Best AFM Measurement
True Non-Contact Mode는 날카로운 팁을 빠르게 마모시키는 거친 표면을 가진 팁 체크 샘플 CrN을 200회의 측정 이후에도 팁의 끝부분을 날카롭게 유지해줍니다.
Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector
True Sample Topography™ without piezo creep error
Park Systems의 AFM은 가장 효과적인 저 노이즈Z검출기로 0.02nm이상의 넓은 대역폭은 가집니다. 이는 정확하게 샘플의 형상도를 측정할 수 있으며, 모서리의 측정 오류가 없어 별도의 측정이 필요하지 않습니다. 또한 시간단축을 해주고 더 좋은 정보를 얻을 수 있습니다.
- Low noise Z detector signal is used for topography
- Low Z detector noise of 0.02 nm over large bandwidth
- No edge overshoot at the leading and trailing edges
- Calibration needs to be done only once at the factory
Park NX AFM
Conventional AFM
Park NX20 features
대칭형 2차원 플랙셔와 고출력 압전 스택으로 구성된 XY 스캐너로서 평면 외 움직임을 최소화한 직교성 높은 이동및 나노미터 규모의 정밀한 시료 스캔에 필수적인 우수한 반응성을 제공합니다
업계를 선도하는 저 노이즈 Z 검출기를 Z 인가 전압 대신 형상 신호로 사용할 수 있습니다.. 또한 저 노이즈 XY 클로즈드 루프 스캔은 왕복 시 스캔 간격을 0.15% 미만으로 최소화합니다.
전동식 시료 스테이지를 활용한 Step-and-Scan 기술로 여러 영역을 사용자가 프로그래밍하여 이미징할 수 있습니다. Step-and-Scan 과정은 다음과 같이 구성됩니다.
1) Scan an image
2) Lift the cantilever
3) Move the motorized stage to a user defined coordinate
4) Approach
5) Repeat the scan
반복 이미징 시 이러한 자동화 기능으로 사용자의 개입을 최소화할 수 있습니다.
더브테일 레일을 따라 원자현미경 헤드를 밀어서 손쉽게 삽입 또는 분리할 수 있고, 미리 정렬된 위치에 헤드가 자동으로 고정되어 제어 전자회로에 연결되며 위치 반복성이 수 미크론 이내입니다. 초발광성 다이오드(SLD)는 가간섭성이 낮으므로 반사율이 높은 표면을 정확하게 이미징하고 pico-Newton 힘-거리 분광을 정밀하게 측정할 수 있습니다. SLD 헤드에는 가시광선 스펙트럼을 활용하는 실험에 적합하다는 장점도 있습니다.
확장 슬롯에 옵션 모듈을 삽입하기만 하면 고급 SPM 모드를 사용할 수 있습니다. NX 시리즈 원자현미경의 모듈식 설계는 모든 제품 라인에서 옵션 호환성을 보장합니다.
모든 NX 시리즈 원자현미경은 동일한 NX 컨트롤러에 의해 제어와 신호 처리가 됩니다. 이 컨트롤러는 완벽한 디지털 방식의 24비트 고속 전자회로로 구성되어 있어서 정확하고 빠른 완전 비접촉 모드TM를 실현합니다. 또한 저 노이즈 설계와 고속 처리 장치를 갖추었으므로 나노 규모 이미징 뿐만 아니라 정밀한 전압 및 전류 측정에 이상적이며, 디지털 신호 처리 기능이 내장되어 숙련된 연구자에게 원자현미경 솔루션의 기능성과 가치를 더해 줍니다.
24-bit signal resolution for XY and Z detectors
• 0.003 nm resolution in XY (50 μm XY)
• 0.001 nm resolution in Z (15 μm Z)
Embedded digital signal processing capability
• 3 channels of flexible digital lock-ins • Spring constant calibration (thermal method)
• Digital Q control included
Intergrated signal access ports
• Dedicated and programmable signal input/output ports
• 7 inputs and 3 outputs
고출력 압전 스택으로 구동되며 플랙셔 구조로 유도되는 표준 Z 스캐너로서 9kHz(통상 10.5 kHz) 이상의 높은 공진 주파수를 가집니다. 초당 48mm 이상의 팁 속도를 발휘하는 Z 서보 속도를 통해 정확한 피드백을 가능하게 합니다. 옵션을 통해 스캔 범위를 최대 15µm 에서 30µm로 넓힐 수 있습니다.
모든 전동식 스테이지에 인코더가 사용되어 시료 위치의 정확성과 재현성이 향상됩니다. 인코딩된 XY 스테이지의 이동 시 분해능은 1µm, 재현성은 2µm입니다. 인코딩된 Z 스테이지의 이동 시 분해능은 0.1μm, 재현성은 1μm입니다.
독보적인 헤드 설계로 측면으로부터 시료와 팁에 접근할 수 있습니다. 스테이지에 올려놓을 수 있는 최대 시료 크기는 XY 시료 스테이지에 대해 선택한 이동 범위 옵션에 따라 150mm(지름) x 20mm 또는 200mm(지름) x 20mm입니다.
맞춤 설계된 대물 렌즈와 매우 긴 작동 거리(51mm, 0.21 NA, 1.0µm 분해능)를 통해 획기적인 선명성으로 직접적인 광학 관찰이 가능합니다. 시료를 위에서 직접 내려다 볼 수 있으므로 시료 표면에서 목표 영역을 손쉽게 찾아낼 수 있습니다.. 장거리 이동 헤드의 EL20x(20 mm의 작동거리, 0.42 NA, 그리고 0.7 µm분해능 )대물 렌즈와 CCD의 대형 센서는 화질 저하 없이 시료를 관찰할 수 있게 합니다. 소프트웨어로 제어되는 LED 광원은 선명한 시료 관찰을 위해 시료 표면을 충분히 밝혀 줍니다
전동식 Z 스테이지 및 초점 스테이지는 원자현미경 헤드를 이동하여 캔틸레버를 시료 표면에 접근시킵니다. Z 스테이지와 초점 스테이지는 시선 축에 평행으로 정렬되어 헤드 접근 시 시야를 유지합니다. 축상 광학현미경의 초점 메커니즘을 전동화하여 소프트웨어로 제어할 수 있습니다. 전동식 초점 스테이지의 유연성은 투명한 시료 및 액상용 셀 응용 분야에 필수적인 간편한 접근성을 부여합니다.