ナノメカニカルモード
ピンポイント™ナノメカニカルモード
ピンポイント™ナノメカニカルモードでは、ナノメカニカル特性の最高の解像度と精度を実現します。剛度、弾性率、粘着力をリアルタイムで同時に取得できます。XYスキャナが停止している間、接触力、先端と試料間の接触時間を明確に制御することで高速度フォースカーブが得られます。データを取得する時間を制御できることから、ピンポイント™ナノメカニカルモードでは、様々な試料の表面において高いS/N比で最適化されたナノメカニカル測定を行うことができます。
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フォースディスタンススペクトロスコピー
チップと試料における相互作用力の測定
フォースディスタンス(F-d)カーブは、Zスキャナを伸縮させながらチップと試料表面の間における垂直方向の相互作用を測定する技術です。カンチレバーのゆがみの働きに対する圧電スキャナの拡張は、表面の機械的特性を反映するチップとサンプルの相互作用力を直接測定します。
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フォースボリュームイメージング
チップとサンプルの相互作用力測定
フォースボリュームイメージングでは、剛度、カンチレバースナップイン、粘着性などのパラメータをプロットすることにより、サンプルの材料特性における詳細なマップを得ることができます。フォースディスタンススペクトロスコピーカーブから抽出されたパラメータは、ユーザーが試料のプロパティに関する洞察をすばやく、かつ簡単に取得できるよう、マトリックスにセットされます。
フォースモジュレーション顕微鏡(FMM)
サンプルの弾力の振幅と位相のイメージング
弊社のFMMモードは、サンプルの表面全体の機械的特性の変化を測定します。サンプル表面に接触している間にAC変調がカンチレバーに反映されるため、振幅と位相の変化をモニタリングし、定性的な弾性応答と粘性応答の洞察を得ることができます。
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摩擦力顕微鏡(LFM)
ナノリソグラフィ
クローズドループスキャンシステムを使用した高度なベクターナノリソグラフィ
ナノリソグラフィモードでは、電圧を加えてサンプル表面を操作し、パターンを作成できます。独自のベクター図面またはラスター(ビットマップ)イメージをインポートすることで、リソグラフィの先端位置を簡単に制御できます。
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ナノインデンテーション
弊社のナノインデンテーションモードでは、カンチレバーに過度の力を加えることでサンプルをインデントし、硬度や弾性などの機械的特性を測定します。
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バネ定数校正
適切なバネキャリブレーションを維持することは、AFMフォースデータの精度にとって重要です。パーク・システムズは、熱測定法を採用することでバネキャリブレーションを再現し、毎回正確な測定値を提供します。