Park NX20 仕様
スキャナ
Z スキャナ
フレクチャーガイド式高力スキャナ
スキャン範囲： 15 µm（オプションにて30 µm）
ハイト（高さ）ノイズレベル： 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)
XY スキャナ
デュアルサーボ・クローズドループ制御のシングルモジュール・フレクチャー式XYスキャナー
スキャン範囲 : 100 µm × 100 µm
（オプションにて50 µm × 50 µm）
ステージ
Zステージ駆動距離：25 mm（電動）
フォーカスステージ駆動範囲：15 mm（電動）
XYステージ駆動範囲：150 mm x 150 mm（電動）
サンプル
サイズ：最大100 mm × 100 mmのオープンスペース、 厚さ最大20 mmまで（オプションにて最大200 mm x 200 mmまで可）
重量 : < 500 g
光学系
10x (0.23 N.A.) ウルトラロングワーキングディスタンスレンズ（分解能：1µm）
サンプル表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ
視野：840 × 630 µm（10x対物レンズ使用の場合）
CCDピクセル：1 Mピクセル, 5 M ピクセル（オプション)
ソフトウェア
SmartScan™
AFMシステム制御、およびデータ取得ソフトウェア
フィードバックパラメーターをリアルタイムに調整
外部プログラムによるスクリプトレベルの制御（オプション）
XEI
AFMデータ解析ソフトウェア
エレクトロニクス
内蔵機能
デジタルロックインアンプ4チャンネル
デジタルQコントロール
信号処理
- ADC：18チャンネル 4つの高速ADCチャンネル X、Y、Zスキャナ位置センサー用24ビットADC
- DAC：17チャンネル 高速DAC 2チャンネル 20ビットDAC X、Y、Zスキャナ位置決め用
- 最大データサイズ：4096 x 4096 ピクセル
<strong外部信号アクセス
組込み信号入出力20ポート
TTL出力5系統：OF, EOL, EOP, モジュレーション、ACバイアス
力測定
フォースディスタンス（F/d）スペクトルスコピー
フォースボリュームイメージング
誘電・圧電特性
静電気力顕微鏡（EFM）
Dynamic Contact EFM (EFM-DC)
圧電応答力顕微鏡（PFM）
高電圧PFM*
機械特性
フォースモジュレーション顕微鏡（FMM）
ナノインデンテーション*
ナノリソグラフィー*
高電圧ナノリソグラフィー*
ナノマニピュレーション*
磁気特性*
磁気力顕微鏡（MFM）
チューナブルMFM
電気特性
コンダクティブAFM（C-AFM）*
IVスペクトルスコピー*
ケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM）
走査型キャパシタンス顕微鏡（SCM）*
走査型拡がり抵抗顕微鏡（SSRM）*
走査型トンネリング顕微鏡（STM）*
フォトカレントマッピング（PCM）*
化学特性*
化学力顕微鏡（機能化チップ付）
EC-AFM
AFMオプション
あらゆるプロジェクトに対応できるよう、AFMをカスタマイズ
自動データ収集・分析で時間短縮
NX20は、あらかじめ設定した手順（レシピ）に従ってサンプルのAFM測定を自動的に行うParkの 自動化制御ソフトウエアを搭載しています。コグネックス製ボードと光学系モジュールを用いて、正確なデータ収集、パターン認識、解析を行い、 ほとんど手を加えることなくエクスポートできるので、より多くの時間を革新的な研究に費やすことができます。
サイドウォールイメージング用サンプルティルティングステージで、さらなる可視化
NX20の革新的なアーキテクチャにより、試料の側壁や表面を検出し、その角度を測定することができます。 これにより、より革新的な研究を行い、より深い洞察を得るために必要な多用途性が備わっています。
革新的な制御設計により、Park NX20は素早く温度平衡に到達します。
また、Park NX20はアクティブ防振を採用しています。
電動ステージ用エンコーダ
•エンコードされたXYステージは、1 µmの分解能で2 µmの繰り返し精度で移動します。
•エンコードされたZステージは、0.1 μmの分解能で1 μmの再現性で移動します。
•電気測定専用小型サンプルホルダー
•ウェハーを保持するための真空溝
温度制御
温度制御ステージ 1：-25 °C ~ +170 °C °C °C
温度制御ステージ 2：常温 ~ +250 °C
温度制御ステージ 3：常温 ~ +600 °C
外形寸法図（単位：mm）
